堪称豪华了。
要知道,搞机械,特别是精密机械,它不比搞程序设计。
程序设计可以叫嚣“只有想不到,没有做不到”,但机械设计还真是,你能想到,但基本上办不到。
双工件台的构思说白了,就如曲慧所说的那样,源自华罗庚老先生的统筹方法——就是在等待烧开水的过程中就把茶杯洗干净,茶叶拿出来丢进杯子里,顺便还拧着暖水壶在一旁等着,只要水开,马上就能泡茶,装水,一气呵成。比等水开了再去找茶叶洗茶杯要节约很多时间。
但真要实现起来却不简单,毕竟这是两个工件台的协同配合,而且要保持高速运动下的微米的运动精度——其难度相当于在两架并肩飞行的飞机上,其中一架飞机伸出一根杆子,在对面的机身上刻微米大小的字。
至于为什么曲慧会在取得如此的成果后依旧保持冷静乃至忧虑……苏远山完全能够理解。
因为曲慧刚出校门就进入了远芯,亲自参加了eda的诞生,又亲眼见证了远芯在各个领域的崛起。
说白了,就是曲慧所参与,所看到的,全是世界顶级的技术成果。
双工件台虽然出来了,却无法给国产光刻机带来本质上的技术飞跃。
她不甘心。
“这样,曲慧姐,我给你指一条方向。”苏远山不知道双工件台技术接下来要具体往哪一边走,但苏远山却知道双工件台的未来在何方。
“嗯?你说什么方向。”
“目前工件台的最大难点还是在于高速运动下所导致的一系列麻烦,所以……如果要把目光瞄准到十年,二十年之后,瞄准到纳米级精度的话,我认为,只有一条路,就是磁悬浮。”
“磁悬浮?”曲慧闻言一怔,直愣愣地望着苏远山。
郑振川也惊讶起来:“小山,磁悬浮能用在工件台上?”
“不是磁悬浮能用在工件台上,而是工件台要摆脱摩擦和阻尼的桎梏,实现超精密运动控制,在现有的自然科学和机械空城的框架下,就只有磁悬浮这一条路。”
曲慧沉默数秒后慢慢点头,喃喃道:“是了,磁悬浮技术可以最大作用地发挥我们的运动控制模块的优势,避开短板。”
“可是,那个难度怕是有点大吧?现在有没有超精密的磁悬浮运动控制案例和方案?”郑振川则想了想,迟疑地问道。
“不知道,但管他呢!”曲慧吸了口气,整个人瞬间振奋了起来,望向苏远山道:“小山,你真觉得那是个方向?”
“我能想到的唯一方向。”苏远山郑重点头。
*
有了新方向的曲慧再无心交谈,转而去苏远山的书架翻了一本物理书来看。
见曲慧这模样,苏远山也在心里暗暗发笑——曲慧别看已经三十岁了,可长期以来身处科研一线,身份身家都无与伦比,以至于心态还是小姑娘心态。
“郑叔,怎么说?”苏远山起身给郑振川斟满茶水,笑呵呵地问道:“你别告诉,你是来推销光刻机的。”
“嗯,还真是。”郑振川从刚才苏远山口中的磁悬浮工件台的设想中回过神来,笑着道:“我们拿到了蔡司的镜头和cymer的krf光源,接下来就能量产最低微米工艺节点的光刻机了。”
“我靠!”
苏远山眼珠子一瞪,差点没从沙发上弹起来:“怎么拿到的?”
“呵呵,别激动。”郑振川好整以暇地抿了一口茶:“怎么样,要不要来两台?”
“等等!”苏远山马上便清醒过来:“别拿空头支票来忽悠我,先说清楚,什么时候可以可以出厂。”
“最多半年。”
听到这个半年,苏远山又默默地算了一下自家光源的时间,这才慢慢平静下来,笑着骂了一句:“nnd,帝国主义亡我之心不死。”
“是啊……但这样好歹能把咱们的光刻机与尼康佳能的距离缩到只有一代了,对吧?”
“嗯,这倒是。”
苏远山含笑望着郑振川,突然越看越觉得这老头有点像“买办”了。
很显然,在这个时候,蔡司和cymer突然对国产光刻机放行,除了有霓国同行的竞争之外,还有就是有把国内的光源和镜头技术“扼杀”在摇篮的想法。
要知道,他们给的光源和镜头,可不是最先进的……
cymer都已经搞出193的arf了,正在想搞euv或者f2呢。
“不过郑叔,我们已经预定了尼康最先进的duv光刻机,他们的节点可是能够到65纳米。”苏远山一耸肩,呵呵笑道:“差不多半年。”
“……”郑振川便带着一脸哀怨地看着苏远山:“当初你说好要支持的呢?”
“我当然一直都是支持的,但这事儿我做不了主啊郑叔。你不应该找我,而是应该去找德远的张博士。”
说着苏远山便疑惑起来:“不对,郑叔……无锡那么多晶圆厂,为什么你不去找他们?”